磁流体超精研磨及弹性发射加工(EEM)与集成电路

众多学者提出了多种抛光方法包括化学机械抛光、水合抛光、弹性发射加工、浮动抛光、磁流体抛光、电泳抛光、快速可更新的研磨抛光等技术其中。[#]

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